VLO 6 je stroj za vakuumsko lemljenje dizajniran za "Advanced Packaging" i "Power Semicunductors" aplikacije i postiže vrlo visoke temperature grijanja i brza hlađenja. Sustav zadovoljava najviše zahtjeve "start-up" i odjela za istraživanje/razvoj koji koriste vakuum kako bi se postigla najmanja šupljina u lemnom području. VLO 6 je sustav za proizvodnje manjih količina sa volumenom komore 6 litra, ali ipak nudi punu funkcionalnost kao i druge VLO vakuumske pećnice. Sa VLO 6, šupljine u lemnim područjima mogu se smanjiti na manje od 2%, dok kod tipičnog postupka za lemljenje ove vrednosti kreću od 20%.
Primjena
Hermetičko pečaćenje
Hibridni mikroelektronski sklopovi
MEMS pečaćenje
Optoelektronski komponenti
Energetski poluvodiči
UHB LED komponenti
Slojevito pakiranje
Sustav je idealan za proizvodne procese koje koriste manje fluksa i manje praznina u procesu lemljenjenja sa različitim gasnim atmosferama (N2, H2 i do 100%, N2 / H2 95/5%). On također može pružiti mokru kemijsku aktivaciju sa HCOOH i suhu kemijsku aktivaciju sa MW plazme za ultra čistu spoj lemljenja.
Čak i bezolovne paste ili formirani komponenti se mogu koristiti bez dodatnog fluksa.
Računalo za kontrolu procesa se isporučuje sa "user-friendly" zaslonom osjetljivog na dodir, procesom uređivanja profila i receptom za pohranu. Serijsko sučelje omogućuje prijenos podataka na PC za offline programiranje i daljinski nadzor.
Značajke i prednosti
temperatura procesa i do 450°C
odlična ujednačenost temperature
grijanje rampe do 18 K / min
hlađenje penje se do 180 K / min
vakuum razini do 10-5 mbar
vrlo visoka propusnost
Opcije
100% H2 plin sa mjerama zaštite
HCOOH mjehurića sa zaštitnim mjerama
automatska vrata
po tanjuru do 6 termoelektrična baterija za površinsko snimanje temperature
